郴州铝皮保温工程 精测电子集团子公司上海精测半体重磅亮相，以技巧创新助产业升

1月15-17日郴州铝皮保温工程，二届湾区半体产业生态展览会（简称：湾芯展225）在圳会展中心汜博开幕。本届展会以“芯启将来，智创生态”为主题，度联动晶圆制造、IC想象、封装、化合物半体等关节表率，构建起半体全产业链的“生态展示圈”，全位呈现产业链的前沿技巧恶果和新处理案。

看成国内半体量检测配置域军企业，精测电子集团依托“光机电算软”体化中枢技巧平台，已酿成遮掩半体检测前说念制程、封装和后说念检测的全域量检测技巧家具布局。本次展会，子公司上海精测半体携前说念制程六大系列量检测配置精彩亮相，曩昔沿技巧实力和创新家具矩阵赢得行业鄙俚关心。

当东说念主工智能掀翻技巧更动，作陪5g、AI、HPC等域对能芯片需求激增，制程工艺节点陆续消弱，晶圆制造的复杂度呈指数擢升，看成半体工艺放置与良率管束的关节表率，半体量检测配置已成为陆续晶圆制造、掩膜制造、封装测试全历程的中枢维持。同期，行业对检测 “ + ”的双重需求，也运行了半体量检测商场边界快速扩容。

上海精测半体耕集成电路量检测域，自主研发膜厚量测、关节尺寸量测、晶圆劣势检测（明场/有图形暗场/图形暗场）、电子束检测、晶圆三维形势量测、电学检测配置，以创新技巧和零散能，为半体制造的精度、率和良率提供全位支握，主力家具均已通过行业头部客户考证，并兑现批量请托。

膜厚量测配置系列郴州铝皮保温工程

膜厚量测配置系列（EFILM/ MetaPAM/SCALE Series）集成的光谱椭偏技巧、宽带椭圆偏振光谱技巧、光声技巧及创新光学想象与光学算法等，可兑现对各式薄膜材料的精度参数测量。

关节尺寸量测配置系列

地址：大城县广安工业区

关节尺寸量测配置系列（EPOFILE/ eMetric Series）光学关节尺寸量测配置度和会光学插手技巧、椭偏光谱技巧与智能建模算法等，可监测栅宽度、侧壁倾角、光刻胶/硬掩模层等关节工艺参数。电子束关节尺寸量测配置具备百兆赫兹速通量电子束图像收罗速率、速精度可靠的及时自动聚焦才略，知足从微米小视场到百微米大视场的截然有异的量测需求。

晶圆劣势检测配置系列郴州铝皮保温工程

晶圆劣势检测配置系列（Vega/ BFI Series）聘用基于度学习的自动劣势检测算法，集成暗场散射、明场DIC微分插手收支和光致发光等多种检测技巧，兑现自动劣势识别与分类、自动及时对焦和多通说念收罗数据，擢升对划痕、凹坑、颗粒等不同劣势类型的检测才略。

电子束检测配置系列

电子束检测配置系列（eVC/ eSpec/eView Series）集成新代电子光学成像和信号检测技巧，铁皮保温具备千兆赫兹速通量电子束图像收罗速率和各样化都全的检测算法，产出才略异，可快速、、准确地完成劣势检测、复查和分类，数据测量及收尾分析。

晶圆三维形势量测配置系列

晶圆三维形势量测配置系列（TG Series）聘用精密的光学系统，可同期得回晶圆正背两面的几何数据，提供行业内先的纳米形势和平坦度检测，具有永诀率和密度采样，通过线形光斑和光谱面阵相机，不错次收罗数千个点的光谱进行缱绻，大提测量率和采样密度。

电学检测配置系列

电学检测配置系列（J-Metron Series）涵盖ATE、WAT、块电阻、汞探针等家具系列，聘用全通说念并行电能测试系统，不错精准测试电流、电阻、电容等参数，适用于各种制程的电学特测试。

这次上海精测半体亮相湾芯展225，不仅展示了公司在半体前说念制程量检测域的技巧实力和创新恶果，同期也基于国内先的光谱散射测量、光学插手测量、光学微成像、电子束/离子束成像、电学检测等关节中枢技巧，为客户提供质的半体制程管控和良率管领路决案。

越检测，兑现主动良率管束。将来，上海精测半体将质料进精测电子集团半体中枢政策，特出强化前说念制程、封装和后说念检测的全域量检测技巧家具布局。并握续以客户需求为向，化中枢技巧攻坚和产业布局拓展，联动产业链凹凸游融合伙伴，共同动半体技巧家具创新，助力构建、巩固、自主可控的半体产业链生态。

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